표준분석연구원 - 신규 연구장비 소개

1. 기기명 : 집속 이온빔 전자현미경 (FIB, Focused Ion Beam)

2. 도입 시기 : 2023년 9월 - 분석 서비스 개시

3. 원리 및 특징

    주사전자현미경(SEM)에 이온가공(밀링 또는 증착) 기능이 추가된 장비로 전자빔을 시료에 집속하여 발생되는 이차전자 및 후방산란 전자를 이용하여 시료 표면의 고분해능 이미지 관찰 및 특정 이온(Ga+이온등)을 시료표면에 주사하여 시료표면을 가공 및 관찰하는 기기

4. 주요 용도 및 분석 예시

• TEM 시료제작
• - 고분해능 전자이미지(SEM), 이온이미지(FIB) 관찰
• - 나노소자제작 및 3차원 구조물 제작
• - Pt, C, W 물질 증착
• - 나노스케일 패터닝 (에칭, 증착)
• EDS 화학분석

     5. 제조사 및 모델명

    6.주요 용도 및 분석 예시

    7. 분석 예시